设备名称：电制冷EDS附件

品牌型号：Flex1000 电镜附件

联系人

姓名：马福坤 电话:18366123062

邮箱：mafukun18@sdjzu.edu.cn

设备主要

技术参数

1、探测器类型：SDD（硅漂移探测器）

2、有效面积：30 mm²（标配）或 60 mm²（可选）

3、能量分辨率：129 eV（Mn-Kα）/ 148 eV（Cu-Kα）

4、分析元素范围：Be₄~Am₉₅（4 号元素铍至 95 号元素镅）

5、工作距离：10 mm（出射角 30°）

服务领域及用途

此设备为Flex1000 SEM电镜附件，需配合电镜进行元素分析。

应用示例

半导体工业中芯片掺杂分布、污染物检测、界面分析等。

设备图片